一、多弧離子反應(yīng)鍍膜設(shè)備可鍍色彩

1、鍍銀灰色∶用鈦靶材，真空鍍抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左右鍍?nèi)昼娮笥摇＃óa(chǎn)生Ti金屬層）

2、鍍銀白色∶用鉻靶材，真空度抽至1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.5×10-1Pa左右鍍?nèi)昼娮笥?。（產(chǎn)生Cr金屬層）

3、鍍金色∶用鈦靶材，真空度抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1×10-1Pa鍍60秒—關(guān)氬氣（Ar）—開氮?dú)庵?~4×10-1Pa鍍4分鐘左右（產(chǎn)生TiN化合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦鋁靶材，充Ar（氬氣）至1×10Pa-1開鈦靶鍍50秒—關(guān)Ar（氬氣）開氮?dú)庵?×10-1Pa—開鈦靶、鈦鋁靶—充乙炔150流量左右，氮?dú)庹{(diào)至3×10-1Pa左右，鍍4分鐘（加熱爐體至200°C左右）。（產(chǎn)生TiCN和TiN化合物）

5、鍍玫瑰金色∶跟古銅色一樣操作，只是乙炔在60流量左右，氮?dú)庹{(diào)至2.5×10-1Pa左右（氮?dú)狻⒁胰惨瑫r(shí)加進(jìn)去反應(yīng)，乙炔要保持不變，真空度多少只調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁?，古銅跟玫瑰金同樣調(diào)節(jié)）。（產(chǎn)生TiCN化合物）

6、鍍五彩色∶用鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍1分鐘后，關(guān)氬氣，開N氮?dú)庵?.5×10-1Pa鍍70秒后關(guān)氮?dú)?，開氧氣O2至4.5×10-1Pa鍍160秒左右，（產(chǎn)生TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍珠光色∶用鈦靶材，充O2（氧氣）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變動(dòng)，鍍40秒左右即可，注意同時(shí)引弧，加熱爐體至180°C。（產(chǎn)生TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、鍍18K金色∶用鋯靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍30秒，關(guān)氬氣，開氮?dú)庵?~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘即可。（產(chǎn)生ZrN化合物）

9、鍍土豪金色∶裝一半鈦靶材，一半錯(cuò)靶材，充Ar（（氬氣）1.0×10-1Pa鍍鈦靶30秒后關(guān)氬氣，開氮?dú)庵?~4×10-1Pa左右，開鈦靶、鋯靶，鍍4分鐘左右。（產(chǎn)生TiZrN化合物）

10、鍍透明七彩色（AB彩）∶用鈦靶材，充O2（氧氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍4分鐘左右，加熱爐戶溫150°C。（產(chǎn)生TiO2、Ti2O3；TiO、等氧化物）

11、鍍酒紅色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加熱爐溫150°℃左右，弧焊機(jī)電流在150A左右（產(chǎn)生Fe2O3氧化物）。

12、鍍琥珀色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘，加熱爐溫150℃左右，弧焊機(jī)電流在150A左右。（產(chǎn)生Fe2O3氧化物）

13、鍍寶石藍(lán)色，用鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍60秒后關(guān)氯氣，開氮?dú)?00-900流量，同時(shí)開氧氣1000-1130流量（真空控制在2.5~3.5×10-1Pa鍍110秒左右）。（產(chǎn)生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和TiN化合物的混合膜層）

14、鍍紫色∶同十三號(hào)工藝，充氮?dú)夂脱鯕獾腻兡r(shí)間控制在60-70秒左右，真空在2.5~3.8×10-1Pa左右即可。

15、鍍鉻黑色∶用鈦Ti和鉻靶材，先充入氬氣Ar在1×10-1Pa鍍60秒左右，關(guān)鈦靶，開鉻靶，關(guān)小氯氣至80-120流量再通入CH乙快氣至8~9.0×10-1Pa，鍍300秒左右。（產(chǎn)生CrC黑色膜層）

16、鍍槍黑色∶用鈦靶材，充入Ar氣在1.0×10-1Pa鍍60秒后，關(guān)小氬氣至80-120流量，再通入CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍300秒左右。（產(chǎn)生TiC化合物膜層）。

二、各種靶材對(duì)應(yīng)的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類、材質(zhì)和氣體（氮?dú)?、氧氣、乙炔、甲烷、等），確定靶材及氣體種類，然后調(diào)整氣體比例、用量、濺射功率、濺射時(shí)間、基材處理溫度、濺射溫度、濺射時(shí)間等工藝參數(shù)，制備出顏色膜層，廣泛應(yīng)用于裝飾性鍍膜行業(yè)。

靶材膜層顏色可調(diào)的PVD鍍膜方法

1、鍍金屬膜層，將待鍍產(chǎn)品傳入裝有金屬靶材的鍍膜腔室，開啟泵抽真空及加熱裝置進(jìn)行基底加熱，使得本底真空達(dá)到1×10-3Pa及達(dá)到80-150℃工藝溫度后，向腔室通入10-1000sccm的氬氣，啟動(dòng)濺射電源，設(shè)置濺射功率1-15KW，鍍膜時(shí)間10-300S，得到厚度為1-100nm的金屬膜層，金屬膜層為銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金屬膜層，或鎳銅（NiCu）、鎳鉻（NiCr）等合金膜層。

2、鍍低折射率膜層，將鍍完金屬膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成低折射率膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度，向腔室通入工藝氣體，設(shè)置濺射功率1-15KW，鍍膜時(shí)間1-300S，得到厚度為1-100nm的低折射率膜層，此低折射率膜層為氧化硅、氮化硅等膜層。

3、鍍高折射率膜層，將鍍完低折射率膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成高折射率膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度，向腔室通入工藝氣體，設(shè)置濺射功率1-15KW，鍍膜時(shí)間1-300S，得到厚度為1-100nm的高折射率膜層，所述高折射率膜層為氧化鈦、氮化鈦、氧化鋯、氮化鋯、氧化鈮、氮化鈮、氧化鋅、氧化銦、氧化鋁、氧化鐵、氧化鉻、氮化鉻等膜層，此高低折射膜層的工藝氣體為Ar、N2、O2中的至少一種，其中Ar氣體流量為10-1000sccm，N2氣體流量為10-1000sccm，O2氣體流量為10-1000sccm。

4、重復(fù)步驟二和步驟三數(shù)次，得到不同顏色的膜層，重復(fù)步驟二和步驟三的次數(shù)為1-100次。

以下是PVD真空鍍膜裝飾薄膜常用材料及其常用氣體制作的各類裝飾顏色涂層：

鋯靶 氮?dú)猓狐S綠金黃色

鋯靶 甲烷：深淺黑色

鋯 氧氣：白色、透明膜

鋯靶 氮?dú)?甲烷：金色、仿玫瑰金

鉻靶 甲烷：深淺黑色

鉻靶 氮?dú)猓簻\黑色

鉻靶 氮?dú)?甲烷：銀灰色

鉻靶 氧氣：黃色、紫色、綠色

鉻靶 氧氣：銀色

不銹鋼靶 氧氣：紫色

不銹鋼靶 氮?dú)猓核{(lán)色

不銹鋼靶 甲烷：亮黑色

不銹鋼靶 甲烷 氮?dú)猓核{(lán)黑色

硅 氮?dú)猓汉谏?/p>

硅靶 氧氣：混濁白、透明膜

硅靶 甲烷：黃色、綠色、藍(lán)色、黑色（靶材純度高于99%僅能調(diào)黑色）

鈦靶 氧氣：光學(xué)膜七彩截色

鈦靶 甲烷：深淺黑色（DLC制備不能達(dá)標(biāo)）

鈦靶 氮?dú)猓悍陆鹕?、黃銅色、紫色、紅色

鈦靶 氮?dú)?甲烷：仿玫瑰金、黑綠色、復(fù)古黃、棕色、紫色

鎢靶 氮?dú)猓鹤攸S色

鎢靶 甲烷：深淺黑色

鎢靶 氧氣：紫色、鮮黃色、棕色、藍(lán)色