一、IGBT生產(chǎn)工藝流程

IGBT在新能源汽車等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，IGBT的生產(chǎn)能力對于整個上下游產(chǎn)業(yè)的影響非常大，那么IGBT是怎么生產(chǎn)的呢？

據(jù)了解，IGBT的生產(chǎn)流程主要包括四個步驟：

1、晶圓生產(chǎn)

包含硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型三個步驟，國際主流是8英寸晶圓，部分晶圓廠12英寸產(chǎn)線逐步投產(chǎn)，晶圓尺寸越大，良品率越高，最終生產(chǎn)的單個器件成本越低，市場競爭力越大。

2、芯片設(shè)計

IGBT制造的前期關(guān)鍵流程，主流的商業(yè)化產(chǎn)品基于Trench-FS設(shè)計，不同廠家設(shè)計的IGBT芯片特點不同，表現(xiàn)在性能上有一定差異。

3、芯片制造

IGBT芯片制造高度依賴產(chǎn)線設(shè)備和工藝，全球能制造出頂尖光刻機的廠商不足五家；要把先進(jìn)的芯片設(shè)計在工藝上實現(xiàn)有非常大的難度，尤其是薄片工藝和背面工藝，目前這方面國內(nèi)還有一些差距。

4、器件封裝

器件生產(chǎn)的后道工序，需要完整的封裝產(chǎn)線，IGBT模塊的封裝流程一般是：芯片和DBC焊接綁線→DBC和銅底板焊接→安裝外殼→灌注硅膠→密封→終測。

二、igbt生產(chǎn)設(shè)備有哪些

IGBT的生產(chǎn)需要用到很多生產(chǎn)設(shè)備，主要有：

真空焊接爐、X-Ray、一次邦線機、二次邦線機、推拉力測試機、超聲波掃描、等離子清洗、成品動態(tài)測試機、高溫烘箱、氮氣烘箱、清洗臺、DBC靜態(tài)測試機、半成品靜態(tài)測試機、點膠機、弧度測試、超聲波焊接、灌膠機、打標(biāo)機、高溫反偏、絕緣測試、成品靜態(tài)測試機、超聲波清洗機。