著錄信息
- 專利名稱：一種AZO透明導(dǎo)電薄膜的制備方法
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN201410141358.6
- 公開(公告)號：CN103938210B
- 申請日：20140410
- 公開(公告)日：20160817
- 申請人：三峽大學(xué),湖北三峽新型建材股份有限公司
- 發(fā)明人：孫宜華,陳劍,呂鑫,方亮,王海林
- 申請人地址：443002 湖北省宜昌市大學(xué)路8號
- 申請人區(qū)域代碼：CN420502
- 專利權(quán)人：三峽大學(xué),湖北三峽新型建材股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C23C28/04,C23C18/12,C23C14/06,C23C14/35
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機構(gòu)：宜昌市三峽專利事務(wù)所 42103
- 代理人：成鋼
- 審查員：趙亞斌
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
制備,磁控濺射法,薄膜,透明導(dǎo)電薄膜,應(yīng)用前景廣闊,薄膜光電,玻璃基片,低溫條件,光電材料,使用壽命,綜合性能,附著性,凝膠法,凝膠,沉積
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