著錄信息
- 專利名稱：氣致冷多晶硅鑄錠爐的閉式冷卻系統(tǒng)
- 專利類型：實(shí)用新型
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN201120277027.7
- 公開(公告)號(hào)：CN202272988U
- 申請(qǐng)日：20110801
- 公開(公告)日：20120613
- 申請(qǐng)人：浙江晶盛機(jī)電股份有限公司,上虞晶信機(jī)電科技有限公司
- 發(fā)明人：曹建偉,石剛,傅林堅(jiān),葉欣,邱敏秀
- 申請(qǐng)人地址：312300 浙江省紹興市上虞市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)通江西路218號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼：CN330682
- 專利權(quán)人：浙江晶盛機(jī)電股份有限公司,上虞晶信機(jī)電科技有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C30B28/06,C30B29/06
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212
- 代理人：金祺
- 審查員：無
- 國際申請(qǐng)：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請(qǐng)：無
關(guān)鍵詞
熱交換,冷卻氣,多晶硅鑄錠,冷卻氣通道,出氣管路,進(jìn)氣管路,致冷,坩堝,氣動(dòng)力,坩堝底部溫度,閉式循環(huán),長晶過程,輻射降溫,精確控制,均勻形核,冷卻方法,冷卻系統(tǒng),氣體出口,氣體入口,下降速度,整體溫度,硅熔體,冷卻器,水冷式,支撐柱,泵組,閉式,底部,冷卻,連接,內(nèi)部
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